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Startseite / Produkt-Center / Vollautomatische Laser-Schreibmaschine
Die hohe Energiedichte des fokussierten ultravioletten Lasers führt zu einem schnellen Temperaturanstieg auf der Oberfläche des zu bearbeitenden Materials, was zu einem sofortigen Schmelzen und Verdampfen führt. In Verbindung mit der Bewegung der Plattform entstehen so lineare Schneidnähte auf der Materialoberfläche, um das Ziel zu erreichen.
Die Laserleistung (Einzelpulsenergie) ist der wichtigste Faktor, der die Schnitttiefe und -breite beeinflusst. An Siliziumwafern durchgeführte Tests ergaben das folgende Diagramm, das die Beziehung zwischen der Laserleistung und der gemessenen Schnitttiefe und -breite veranschaulicht. (Testbedingungen: Laserfrequenz 70 kHz, Schneidgeschwindigkeit 250 mm/s, Verwendung der Mehrpunktschneidetechnik).
Hauptsächlich für das Schneiden von LED-Rot- und Gelblicht-Silizium-Waferchips sowie für das Schneiden von Spezialmaterialien wie Keramik und Metallen verwendet.
Ausgestattet mit einer Weitwinkelkamera zur automatischen Konturenerkennung
Beim Laden muss nicht zwischen ganzen und gebrochenen Stücken unterschieden werden, so dass die Einstellung der Bruchstücke und die Suche nach den Kanten entfällt, was zu einer erheblichen Zeitersparnis beim Brechen führt.
Stabiles Rückschneidesystem
Bietet eine stabile Bildgebung; in Kombination mit der großformatigen doppelseitigen (DD) Technologie und ausgereiften Schneidetechniken kann es 6-Zoll-Waferstücke zurückschneiden.
Multi-Point Technologie
Die Maschine ist mit Mehrpunktlinsen ausgestattet, die das Wiedereinschmelzen effektiv kontrollieren und so bessere Schneidergebnisse erzielen. Diese Schneidetechnologie ist in der Branche führend.
Hochpräzise Werkbank
Die vollständige Closed-Loop-Steuerung stellt sicher, dass der Verschiebungsfehler über den gesamten Verfahrbereich innerhalb von ±1µm liegt. Die exzellente Beschleunigungs- und Verzögerungsleistung verbessert effektiv die Produktionskapazität des Systems pro Zeiteinheit.
Stabiles, hochwertiges Reinigungs- und Leimauftragssystem
Die Maschine ist mit einem automatischen Reinigungs- und Leimauftragssystem ausgestattet, wodurch sie einfach und bequem zu bedienen ist. Alle Parameter für die Reinigung und den Leimauftrag werden umfassend überwacht, um die Qualität der Zerspanung zu gewährleisten.
Eine große Anzahl von Geräten arbeitet stabil an verschiedenen Kundenstandorten, wobei ihre Leistung voll anerkannt und bestätigt wurde.
Effizienz beim Schneiden: Bei 4-Zoll-Wafern (4646 Standard), die 22 Stunden pro Tag in Betrieb sind, erreicht die Maschine eine Schneidekapazität von ≥45 Stück/Tag für das Schneiden von Vorder- und Rückseite.
Ausbeute: Die optische Ausbeute der geschnittenen Stücke beträgt ≥98,5%, und die elektrische Ausbeute vor und nach dem Schneiden bleibt im Wesentlichen bei null Verlust.
Stabilität der Ausrüstung: Die Auslastung der Geräte ist ≥98%, wobei die Alarmrate auf weniger als 3 Mal pro Tag kontrollierbar ist.
| Nein. | Komponentenname | Herkunft | Modell | Menge | Funktion und Parameter |
| 1 | Laser | Selbst gemacht/gekauft | 355 | 1 | Wellenlänge: 355nm Frequenz: Einstellbar 0-500KHz Laser Leistung ≤ 15W |
| 2 | XY Arbeitstisch | Selbst gemacht | 300600 XY | 1 | Hub: 300600mm Y-Achse Wiederholung Positioniergenauigkeit ≤ 1μm Vertikalität (innerhalb ±50mm): ±1μm Ebenheit: ±2μm |
| 3 | DD Motor | Gekauft | / | 1 | Absolute Positionierungsgenauigkeit: ±20 Bogensekunden Wiederholte Positionierungsgenauigkeit: ±3 Bogensekunden Montage Ebenheit ≤ 8μm |
| 4 | CCD | Gekauft | / | 4 | Weitwinkel-CCD: 1 mit 5 Millionen Pixel Oberer CCD: 2 mit 130W Pixel Unterer CCD: 1 mit 1,3 Millionen Pixeln |
| 5 | Gerät zur Reinigung und Beschichtung | Selbst gemacht | / | 1 | Automatische Reinigung und Beschichtung Mit Schutzflüssigkeits- und Wasserdurchflussüberwachung |
| 1 | Leistungsanforderungen | 220V/Einphasig/50Hz/16A; Schwankungen in der Stromversorgung: <5% |
| 2 | Umgebungstemperatur | 20~24℃; Temperaturschwankung ±1℃ |
| 3 | Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 40~70%; Keine Kondensation |
| 4 | Pressluft | 0,65~0,75MPa, Ausrüstungsschnittstelle Rohrdurchmesser φ12 |
| 5 | Fabrik Vakuum | -0.06MPa ~ -0.08MPa, Ausrüstung Schnittstelle Rohrdurchmesser φ8 |
| 6 | Kühlwasser | Verwenden Sie normales, in Flaschen abgefülltes, gereinigtes Wasser für den Kühler und wechseln Sie es einmal im Monat. |
| 7 | Waschen Wasserdruck | Wasserdruck 0,15~0,3MPa, benötigt gefiltertes Wasser, Filterdurchmesser ≤ 25μm |
| 8 | Auspuff-Reinigungssystem | Geräteschnittstelle Rohrinnendurchmesser φ100 gewelltes Rohr |
| 9 | Anforderungen an Umgebungsvibrationen | Fundament-Amplitude <5μm; Vibrationsbeschleunigung <0.05G |
| 10 | Zu vermeidende Situationen | ● Bereiche mit Müll, Staub und Ölnebel; |
| ● Bereiche mit erheblichen Vibrationen und Stößen; | ||
| ● Bereiche, in denen Arzneimittel und entflammbare/explosive Materialien berührt werden können; | ||
| ● Bereiche in der Nähe von Hochfrequenz-Störquellen; | ||
| ● Gebiete, in denen sich die Temperaturen abrupt ändern können; | ||
| ● Umgebungen mit hohen Konzentrationen von CO2, NOX, SOX, usw. |
Der Abstand zwischen dem Gerät und anderen Geräten bzw. der Abstand zur Wand muss mindestens 800 mm betragen.
Ausstattung Abmessungen: 1350x2170x1750mm (B*L*H), Höhe beinhaltet nicht die dreifarbige Beleuchtung.
Gewicht der Ausrüstung: 3 Tonnen (ohne Kühler).
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