Cristal azul y cristal blanco IR- CUT, cristal azul y cristal blanco AR, lente de resina AR, prisma de ángulo recto de periscopio, etc.
Modelo | OPIE1550 | |
Sala de vacío | SUS304, φ1550mmx1600mm(H) | |
Sistema de vacío | 4 bombas moleculares +1 juego de bomba mecánica/unidad de bomba de raíces | |
Portapiezas | diámetro del disco 1460 mm, velocidad de rotación 0-30 rpm | |
Fuente de vapor | 2 juegos de pistolas electrónicas (pistolas duales, escaneo dual, filamentos duales, ángulo de desviación del haz de 270 grados, potencia 10KW) | |
Sistema de deposición | Fuente de iones de radiofrecuencia RISE + fuente de plasma especial (opcional) | |
Sistema de control | Sistema de control inteligente de la deposición al vacío |
Sistema de control
Sistema de control del espesor de la película de cristal
configurado según requisitos específicos, configuración estándar
Sistema óptico de vigilancia en tiempo real de películas finas
sistema de control óptico de desarrollo propio (amplio espectro, longitud de onda única) opcional
Sistema de refrigeración profunda
potencia del compresor 10KW, temperatura de refrigeración de la batería<-130°C
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