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Machine à coller temporaire

Le placement combiné à deux bras permet la vitesse de placement la plus rapide, soit 84 000 CPH (dans nos conditions optimales).

Le système à double bras et à double entraînement garantit efficacement la précision et la cohérence des opérations à grande vitesse.

Machine à coller temporaire 2"~8

Machine à coller temporaire 2

Machine à coller semi-automatique

Matériel de collage temporaire

Machine à coller les automobiles

  • Taille du substrat : 2''~8''
  • Matériau de collage : cire, colle
  • Température de collage : ≤ 350°C
  • Force d'adhérence : ≤ 400N
  • Alignement du centre : ≤0,1mm(Auto) ≤0,5mm(Semi-Auto)
  • Après collage TTV : ≤ 3.0um
  • Application : Si, GaN, GaAs, SiC

8"~12" Machine à coller temporaire

Matériel de collage temporaire

Machine à coller semi-automatique

Matériel de collage temporaire

Machine à coller les automobiles

  • Matériau de collage : colle
  • Matériau de collage : cire, colle
  • Température de collage : ≤ 350°C
  • Force d'adhérence : ≤ 60kN
  • Alignement central : ≤50um
  • Après collage TTV : ≤ 4.0um
  • WPH : ≥ 8
  • Application : Fan-Out, 2.5D/3D

2"~8" Désencollage thermique

Machine à coller temporaire 2

Machine à coller semi-automatique

2"~8" Désencollage thermique

Machine à coller les automobiles

  • Taille du substrat : 2''~8''
  • Matériau de décollement : cire, colle
  • Température de décollement : ≤ 350°C
  • Épaisseur de la plaquette : 30um~1000um
  • Application : Si, GaN, GaAs, SiC

Décolleur laser 8"~12

Matériel de collage temporaire
Équipement de décollement par laser

Semi-auto

8''~12'' Système de collage et d'alignement permanent

Matériel de collage temporaire

Chambre de collage

Matériel de collage temporaire

Système d'alignement

  • Taille du substrat : 8''~12''
  • Matériau de liaison : Si-Si, Si-verre, métal-métal
  • Température de collage : ≤ 550°C
  • Force d'adhérence : ≤ 60kN
  • Précision de l'alignement : ≤±2.0um
  • Application : Collage par fusion, collage anodique, collage par activation plasma

Système de liaison permanente et d'alignement

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Système de liaison permanente et d'alignement

  1. Port de charge
  2. Robot de transfert
  3. Pré-aligneur
  4. Chambre à plasma
  5. Nettoyeur RCA
  6. Aligneur
  7. Chambre des obligations

Déroulement du processus

RCA Clean → Plasma Treatment → Alignment → Bonding → Anneal

Comment choisir l'équipement

Matériel de collage temporaire

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