Verre bleu et verre blanc IR- CUT, verre bleu et verre blanc AR, lentille en résine AR, prisme à angle droit pour périscope, etc.
Modèle | OPIE1550 | |
Salle d'aspiration | SUS304, φ1550mmx1600mm(H) | |
Système de vide | 4 pompes moléculaires +1 jeu de pompes mécaniques/unité de pompage racinaire | |
Porte-pièce | diamètre du disque de la pièce 1460mm, vitesse de rotation 0-30 rpm | |
Source de vapeur | 2 jeux de pistolets électroniques (double pistolets, double balayage, double filament, angle de déviation du faisceau de 270 degrés, puissance 10KW) | |
Système de dépôt | Source d'ions à radiofréquence RISE + source de plasma spécial (en option) | |
Système de contrôle | Système de contrôle intelligent pour le dépôt sous vide |
Système de surveillance
Le système de contrôle de l'épaisseur du film cristallin
configuré selon des exigences spécifiques, configuration standard
Système de surveillance en temps réel des couches minces optiques
Système de contrôle optique auto-développé (large spectre, longueur d'onde unique) en option
Système de refroidissement en profondeur
puissance du compresseur 10KW, température de refroidissement de la bobine<-130°C
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