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LC608 Machine à tracer au laser entièrement automatique

Cette série d'équipements est conçue spécifiquement pour les caractéristiques de la découpe au laser des plaquettes de substrat en silicium. Elle utilise un laser UV et un système de chemin optique externe spécialement conçu, associé à un système de positionnement par imagerie CCD de haute précision et à un contrôle de mouvement de plateforme de haute précision pour obtenir des résultats de découpe précis et efficaces, avec pratiquement aucun résidu dans la rainure de découpe.

LC608 Machine à tracer au laser entièrement automatique Avantages

  • Technologie de coupe multipoint pour un traitement efficace et de haute qualité.
  • Chargement et déchargement entièrement automatisés pour un fonctionnement sans surveillance.
  • Compatible avec la production de plaquettes de 2, 4 et 6 pouces.
  • Equipé de fonctions automatiques d'application de colle et de nettoyage.
  • Rectitude et répétabilité de la plate-forme à 1 micron près.
  • Capable d'utiliser les fonctions tangentes et les fonctions de coupe arrière.

Principe de base

La haute densité d'énergie du laser ultraviolet focalisé provoque une augmentation rapide de la température à la surface du matériau traité, ce qui entraîne une fusion et une vaporisation instantanées. Associé au mouvement de la plate-forme, ce phénomène crée des joints de coupe linéaires sur la surface du matériau afin d'atteindre l'objectif de la coupe.

Machine automatique à tracer au laser DSI-LC608

Largeur et profondeur de coupe

La puissance du laser (énergie de l'impulsion unique) est le principal facteur influençant la profondeur et la largeur de coupe. Les tests effectués sur des tranches de silicium ont donné le graphique ci-dessous, qui illustre la relation entre la puissance du laser et la profondeur et la largeur de coupe mesurées. (Conditions d'essai : fréquence du laser à 70 kHz, vitesse de coupe à 250 mm/s, utilisation de la technologie de coupe multipoint).

Méthodes de traitement

Coupe tangente + clivage

  • Coupe d'un seul côté (pas complètement à travers) suivie d'un clivage direct.
  • Applicable à certaines découpes de plaquettes de silicium, à la découpe de céramiques et au clivage du verre avec le silicium.

Coupe tangente + coupe arrière + clivage

  • Convient à la découpe de puces de substrat à base de silicium.
  • Il s'agit actuellement de la principale méthode de traitement des puces à base de substrat de silicium.

Coupe intégrale (pas de clivage)

  • Applicable aux substrats en silicium et aux substrats en alliage de cuivre et de tungstène.
  • Se coupe en un seul passage sans nécessiter de clivage.
  • Représente la tendance future du développement du traitement laser.

Machine à tracer au laser Domaines d'application

Principalement utilisé pour la découpe de puces de silicium à lumière rouge et jaune, ainsi que pour la découpe de matériaux spéciaux tels que les céramiques et les métaux.

Substrat de plaquette de silicium - Applications GaN (nitrure de gallium).

DSI-L-SS1126 SIC Machine à fendre entièrement automatique

Substrats métalliques

Machine automatique à tracer au laser DSI-LC608

Feuilles de céramique

Machine automatique à tracer au laser DSI-LC608

Panneaux solaires

Machine automatique à tracer au laser DSI-LC608

Substrats SiC et verre feuilleté

Machine automatique à tracer au laser DSI-LC608

Machine automatique à tracer au laser DSI-LC608

  • Équipé d'une caméra grand angle pour la reconnaissance automatique des contours
    Le chargement ne nécessite pas de distinguer les pièces entières des pièces cassées, ce qui élimine la nécessité de régler les pièces cassées et de rechercher les arêtes, d'où un gain de temps considérable lors de l'opération de cassage.

  • Système de coupe arrière stable
    Il fournit une imagerie stable ; associé à la technologie double face (DD) de grande taille et à des techniques de découpe éprouvées, il peut découper en arrière des morceaux de plaquettes de 6 pouces.

  • Technologie multipoint
    La machine est équipée de lentilles multipoints qui contrôlent efficacement la refonte, ce qui permet d'obtenir de meilleurs résultats de coupe. Cette technologie de coupe est à la pointe de l'industrie.

  • Établi de haute précision
    Le contrôle complet en boucle fermée garantit que l'erreur de déplacement sur l'ensemble de la plage de déplacement est inférieure à ±1µm. Les excellentes performances d'accélération et de décélération améliorent efficacement la capacité de production du système par unité de temps.

  • Système de nettoyage et d'application de colle stable et de haute qualité
    La machine est équipée d'un système automatique de nettoyage et d'application de colle, ce qui la rend simple et pratique à utiliser. Tous les paramètres de nettoyage et d'application de colle sont contrôlés de manière exhaustive afin de garantir la qualité de la découpe des copeaux.

Machine automatique à tracer au laser DSI-LC608

Performance de l'équipement de traitement

Un grand nombre d'appareils fonctionnent de manière stable sur différents sites de clients, leurs performances étant pleinement reconnues et confirmées.

  • Efficacité de la coupe: Pour des plaquettes de 4 pouces (4646 standard), en fonctionnant 22 heures par jour, la machine atteint une capacité de coupe de ≥45 pièces/jour pour la coupe avant et arrière.

  • Rendement de coupe: Le rendement d'apparence des pièces coupées est ≥98,5%, et le rendement électrique avant et après la coupe maintient essentiellement une perte nulle.

  • Stabilité de l'équipement: Le taux d'utilisation de l'équipement est ≥98%, le taux d'alarme pouvant être contrôlé à moins de 3 fois par jour.

Configuration principale

Non.Nom du composantOrigineModèleQuantitéFonction et paramètres
1LaserFabriqué par soi-même/acheté3551Longueur d'onde : 355nm
Fréquence : Réglable de 0 à 500KHz
Puissance du laser ≤ 15W
2Table de travail XYAutodidacte300600 XY1Course : 300600mm
Axe Y Répétition du positionnement Précision ≤ 1μm
Verticalité (à ±50 mm près) : ±1μm
Planéité : ±2μm
3Moteur DDAcheté/1Précision du positionnement absolu : ±20 arc-sec
Précision du positionnement répété : ±3 arc-sec
Planéité de montage ≤ 8μm
4CCDAcheté/4CCD grand angle : 1 avec 5 millions de pixels
CCD supérieur : 2 avec des pixels de 130W
CCD inférieur : 1 avec 1,3 million de pixels
5Dispositif de nettoyage et de revêtementAutodidacte/1Nettoyage et revêtement automatiques
Avec contrôle de l'écoulement du liquide de protection et de l'eau

Environnement de travail

Cet équipement doit être utilisé dans une salle blanche conforme à la norme ISO14644-1 de CLASSE ISO5 ou supérieure !

Exigences de l'usine

1Exigences en matière d'alimentation220V/Monophasé/50Hz/16A ; fluctuation de l'alimentation électrique : <5%
2Température ambiante20~24℃ ; Variation de température ±1℃
3Humidité ambiante40~70% ; Pas de condensation
4Air comprimé0,65~0,75MPa, diamètre du tuyau d'interface de l'équipement φ12
5Vide d'usine-0,06MPa ~ -0,08MPa, diamètre du tuyau d'interface de l'équipement φ8
6Eau de refroidissementUtiliser de l'eau purifiée ordinaire en bouteille pour le refroidisseur, la changer une fois par mois.
7Pression de l'eau de lavagePression de l'eau 0,15~0,3MPa, nécessite de l'eau filtrée, diamètre du filtre ≤ 25μm.
8Système de purification des gaz d'échappementInterface de l'équipement diamètre interne du tuyau φ100 tuyau ondulé
9Exigences environnementales en matière de vibrationsAmplitude de la fondation <5μm ; accélération des vibrations <0,05G
10Situations à éviter● Les zones où se trouvent des déchets, de la poussière et des brouillards d'huile ;
● Les zones présentant des vibrations et un impact significatifs ;
● Les zones où l'on peut toucher des produits pharmaceutiques et des matériaux inflammables/explosifs ;
● Les zones situées à proximité de sources d'interférences à haute fréquence ;
● Les zones où les températures peuvent changer brusquement ;
● Environnements présentant des concentrations élevées de CO2, NOX, SOX, etc.

Exigences relatives au site

La distance entre l'appareil et les autres appareils, ou la distance par rapport au mur, doit être d'au moins 800 mm.
Dimensions de l'équipement : 1350x2170x1750mm (L*L*H), la hauteur n'inclut pas la lumière tricolore.
Poids de l'équipement : 3 tonnes (sans le refroidisseur).

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