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SS 1126 SIC Machine à fendre les copeaux entièrement automatique

Cet équipement est principalement utilisé pour la découpe de substrats SIC Le processus de découpe est à l'origine de la technologie de découpe de l'équipement de traitement au laser Art Equipment

SS 1126 SIC Machine à fendre les copeaux entièrement automatique

Taille de traitement de l'équipement : convient au traitement de plaquettes de 4 à 6 pouces. Aspect de l'équipement : Voir l'image de droite.

Soutien aux équipements spéciaux : Équipement de découpe au laser SIC

Principaux éléments

Structure de chargement et de déchargement automatique Système de positionnement par vision Système de fractionnement de la scène Système de contrôle électrique Les composants principaux sont tous en marbre.

DSI-L-SS1126 SIC Machine à fendre entièrement automatique

Organigramme principal

 

DSI-L-SS1126 SIC Machine à fendre entièrement automatique

Capacité de traitement

Le processus de découpage consiste à appliquer une légère pression le long de la trajectoire de la rayure laser sur le produit afin de briser la rayure laser. Processus : Le produit est placé sur une table de support symétrique (la distance médiane est réglable), calibrer la position de découpe laser à travers un système visuel de haute précision Positionnement (positionnement au niveau du micromètre ). Le couteau divisé (largeur de lame 5 um ) au-dessus du produit est rapidement levé et abaissé pour faire bouger le produit le long de la trajectoire de coupe . (Rayure laser) Fissure et séparation .

Cette technologie a été appliquée avec maturité à divers SIC, plaquettes de silicium, saphir et divers fragments de matériaux fragiles mixtes. Le taux de rendement dans les industries traditionnelles est généralement supérieur à 99%. Il offre une grande précision de positionnement, réduit efficacement l'effondrement des bords et résout le problème de la fracture incomplète des cristaux jumeaux. Avantages technologiques de la surface.

Solution de traitement du carbure de silicium : copeaux orientés vers le haut, trajectoire de coupe de la lame :

  • La lame agit directement sur le copeau et est positionnée par vision sans interférer avec le processus de grattage. Contact avec les zones situées en dehors de la route ;
  • La largeur de la lame est d'environ 5um, et la planéité de la table de support est de 5um. La précision de positionnement de l'axe de mouvement du noyau concerné est de l'ordre de 2um afin de garantir la précision des opérations.
  • Du point de vue de la protection de la plaquette et de la réduction du risque d'écaillage, il est possible d'envisager l'ajout d'une couche de film protecteur antiadhésif de plus de 25um sur l'avant de la plaquette pour faire en sorte que la lame La lame n'entre pas directement en contact avec le chemin de coupe, et la lame se fissure sur le chemin de coupe pour donner au chemin de coupe La pression supplémentaire peut être presque ignorée.

 

Machine à tracer au laser Domaines d'application

Principalement utilisé pour la découpe de puces de silicium à lumière rouge et jaune, ainsi que pour la découpe de matériaux spéciaux tels que les céramiques et les métaux.

Substrat de plaquette de silicium - Applications GaN (nitrure de gallium).

DSI-L-SS1126 SIC Machine à fendre entièrement automatique

Substrats métalliques

Machine automatique à tracer au laser DSI-LC608

Substrats SiC et verre feuilleté

Machine automatique à tracer au laser DSI-LC608

Compensation de la profondeur de la lame dans la fente

La longueur de la fissure est calculée sur la base du profil grand angle et la profondeur de coupe est compensée en fonction de la valeur du tableau de compensation de la longueur lors du fendage. Le pourcentage de marteau définit la compensation de la force du marteau.

Fonction autofocus

Pour résoudre le problème du changement de mise au point causé par le gauchissement des bords des plaquettes LED pendant l'opération de déchiquetage, le logiciel peut définir la zone de mise au point automatique pour confirmer automatiquement la mise au point, assurer la précision de la fragmentation et réduire l'alarme du niveau d'étalonnage causée par les changements de mise au point.

Chargement des couteaux en un clic, fonction de réglage automatique de l'outil

Le couteau diviseur peut être remplacé facilement en appuyant sur le bouton du logiciel de chargement d'outils ; la fonction de réglage automatique de l'outil corrige automatiquement la position du couteau diviseur, vérifie et corrige automatiquement pendant le fonctionnement, et évite les erreurs matérielles de base. Anomalies du produit ;

Exigences en matière de placement des machines

(L)1250 × (P)1000 × (H) 1650 ( mm ) (à l'exclusion des feux de signalisation) En outre, au moins 600 mm

DSI-L-SS1126 SIC Machine à fendre entièrement automatique

Exigences environnementales

Demande d'électricité220V/ Monophasé /50Hz/ 10A
Température ambiante20-25℃
Environnement Humidité20%-60%
Air comprimé0,6MPa
Raccordement à l'air compriméΦ8mm
Exigences environnementales en matière de vibrationsAmplitude de la fondation < 5μm
Accélération des vibrations < 0,05G

Installation et mise en service de l'équipement

Installation et mise en service des équipements, plan de formation
Jours ouvrablesDescription de l'emploiRemarque
Jour 11. Installation et mise en place de la machine
2. Réglage du niveau de la base de la machine
3. Intérieur de la machine
4. Mettre l'équipement sous tension et le ventiler
5. Mettre sous tension tous les composants de l'équipement.
6. Test de précision de la plate-forme
 
Jour 21. Confirmation de l'effet d'écharde
2. Essai d'éclatement selon les exigences du client sur place
 
Jours 3-71. Essai de fractionnement selon les exigences du client sur place
2. Formation : Formation à la sécurité des équipements
3. Formation : Introduction à la structure et au fonctionnement de l'ensemble de la machine
4. Formation : Opérateur Introduction au fonctionnement de base
5. Formation : Essai de fonctionnement de l'opérateur
6. Formation : Formation des administrateurs à la création de fichiers logiciels, au paramétrage, etc.
7. Formation : Formation à la gestion des problèmes courants pour les administrateurs
8. Formation : Gestion Formation à la maintenance simple pour le personnel et l'équipement
Travail de formation basé sur la sécurité du personnel du client Row, et formation Degré de maîtrise du contenu, travail de formation Selon les exigences du client Demande de continuation
Le huitième jour et au-delàCoopérer avec les clients pour réaliser divers essais de processus de découpe et des travaux d'acceptation des équipements. 

Garantir la capacité de production et la chaîne d'approvisionnement

  • Capacité de production mensuelle : Le département de mise en service des équipements de production compte plus de 30 personnes chargées de la mise en service et plus de 100 personnes chargées de l'assemblage mécanique et électrique. La capacité de production mensuelle standard est de 30-40 unités/mois, et la capacité de production d'urgence peut atteindre 50/mois.
  • Livraison : L'approvisionnement exclusif, l'approvisionnement original de l'usine, le stockage anticipé et d'autres méthodes garantissent des délais de livraison stables pour les clients.
  • Gestion de la production : Système complet de gestion de la production de Daju, méthodes de gestion, composition du personnel ; contrôle des matériaux, plan de préparation des matériaux, processus d'assemblage, installation et débogage, processus normalisé pour la production de masse des machines.

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