Vetro blu e vetro bianco IR- CUT, vetro blu e vetro bianco AR, lente in resina AR, prisma ad angolo retto periscopico, ecc.
Modello | OPIE1550 | |
Stanza del vuoto | SUS304, φ1550mmx1600mm (H) | |
Sistema a vuoto | 4 pompe molecolari +1 set di pompe meccaniche/unità di pompaggio delle radici | |
Cremagliera portapezzi | diametro del disco del pezzo da lavorare 1460 mm, velocità di rotazione 0-30 giri/min. | |
Fonte di vapore | 2 set di pistole elettroniche (doppia pistola, doppia scansione, doppio filamento, angolo di deviazione del fascio di 270 gradi, potenza 10KW) | |
Sistema di deposizione | Sorgente ionica a radiofrequenza RISE + sorgente di plasma speciale (opzionale) | |
Sistema di controllo | Sistema di controllo intelligente della deposizione sotto vuoto |
Sistema di monitoraggio
Il sistema di monitoraggio dello spessore del film di cristallo
configurato in base a requisiti specifici, configurazione standard
Sistema di monitoraggio ottico a film sottile in tempo reale
sistema di controllo ottico sviluppato in proprio (ampio spettro, singola lunghezza d'onda) opzionale
Sistema di raffreddamento profondo
potenza del compressore 10KW, temperatura di raffreddamento della bobina<-130°C
Rm3A08 (4° piano) Block D, Huashengtai Technology Park, No.36 Hangkong Road, Baoan District, Shenzhen City, Cina
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