O fluxo de limpeza da máquina de plasma a vácuo: carregue os produtos na câmara de vácuo - ligue o motor para esgotar a sala até um nível de vácuo padrão de cerca de 10Pa (isso geralmente leva alguns minutos) - insira o gás (oxigênio, argônio, hidrogênio, nitrogênio, tetrafluoreto de carbono, etc.) na câmara de vácuo e mantenha a pressão interna estável - aplique tensão de alta frequência na câmara de vácuo para penetrar no gás e ocorrer de plasma, e começar a limpar processo. -- Depois de terminar a limpeza, cortar a alimentação eléctrica e o gás e a sujidade vaporizada são extraídos e descarregados pela bomba de vácuo.
Temos uma gama completa de máquinas de limpeza de plasma a vácuo, contacte-nos para discutir as suas necessidades individuais.
Modelo | HW-PL100 |
Dimensão (L*A*P) | 1100*1030*1680mm |
Tamanho da câmara de vácuo (L*A*P) | 500*450*500mm |
Material da câmara de vácuo | Aços inoxidáveis 316 |
Controlador de caudal | 0-800ml/min |
Tempo de limpeza | 1-9999s ajustável |
Volume | 100L |
Potência da fonte de plasma | 0-500W ajustável |
Frequência de potência de RF | 13,56MHZ |
Potência geral | 3kw |
Sistema de controlo | PLC+ ecrã tátil |
Vácuo de funcionamento | 9-30Pa |
Alimentação eléctrica | AC380V, 50/60HZ |
Elétrodo horizontal incorporado | 5 camadas |
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