Синее стекло и белое стекло IR- CUT, синее стекло и белое стекло AR, смоляная линза AR, перископная призма с прямым углом и т.д.
Модель | OPIE1550 | |
Вакуумная комната | SUS304, φ1550mmx1600mm (H) | |
Вакуумная система | 4 молекулярных насоса +1 комплект механических насосов/корневой насосный агрегат | |
Стойка для заготовок | диаметр диска для заготовок 1460 мм, скорость вращения 0-30 об/мин | |
Источник пара | 2 комплекта электронных пушек (двойные пушки, двойное сканирование, двойные нити, угол отклонения луча 270 градусов, мощность 10 кВт) | |
Система осаждения | Источник радиочастотных ионов RISE + специальный источник плазмы (опция) | |
Система управления | Интеллектуальная система управления вакуумным напылением |
Система мониторинга
Система контроля толщины кристаллической пленки
настраивается в соответствии с конкретными требованиями, стандартная конфигурация
Оптическая тонкопленочная система мониторинга в реальном времени
самостоятельно разработанная система оптического контроля (широкий спектр, одна длина волны) опционально
Система глубокого охлаждения
мощность компрессора 10 кВт, температура охлаждения змеевика <-130°C
Rm3A08 (4 этаж) Блок D, Технологический парк Хуашэнтай, №36 Хангконг Роуд, район Баоань, город Шэньчжэнь, Китай
© 2025 Все права защищены.