商品詳細

イオンビーム蒸着光学コーター

超高精度オプトエレクトロニクスデバイス作製用のハイエンド装置です。高品質の光学コーティングに焦点を当て、散乱値と欠陥密度が極めて低い。レーザー、光通信、航空宇宙、バイオメディカル、自動車光学、MEMSセンサー、パン半導体など、要求の厳しいアプリケーションでの高精度コーティング製造に適しています。

青色ガラス＆白色ガラスIR-CUT、青色ガラス＆白色ガラスAR、樹脂レンズAR、ペリスコープ直角プリズム等。

量産標準機
リアルタイム・オンライン・モニター
完全自律光学制御
オープン・プロセス設計
RISE RFイオンソース：イオンビーム電流は高精度で制御可能。
ユニークなプラズマ源：高周波駆動、消耗品なし、純粋な酸素イオンを供給し、特定の帯域で優れたスペクトル指標を確保。
光制御：光制御成膜制御精度：0.1-0.3%。独自の構造と効率的な光路設計、超高速スペクトルデータのリアルタイム収集、独自開発のインテリジェント光制御コアアルゴリズムを採用。
革新的な制御システム：オープンモジュラーシステムアーキテクチャ、ARMベースのスマート制御システム、フレンドリーなヒューマンマシンインタラクション体験、IoTとクラウドコンピューティングアーキテクチャをサポート。

モデル	OPIE1550
真空ルーム	SUS304、φ1550×H1600mm
真空システム	分子ポンプ4台＋メカニカルポンプ／ルーツポンプユニット1組
ワークラックおよびワークディスク	ワークディスク直径1460mm、回転速度0～30rpm
蒸気源	電子ガン2セット（デュアルガン、デュアルスキャン、デュアルフィラメント、ビーム偏角270度、出力10KW）
蒸着システム	RISE高周波イオン源＋特殊プラズマ源（オプション）
制御システム	真空蒸着インテリジェント制御システム

監視システム

結晶膜厚モニタリングシステム

特定の要件に応じて構成、標準構成

光学薄膜リアルタイム・モニタリング・システム

自社開発光学制御システム（ワイドスペクトル、単一波長）オプション

ディープ・クーリング・システム

コンプレッサーパワー10KW、コイル冷却温度<-130°C