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3 半導体製造用ウェーハピッキング&プレースマシン

ウエハー ピックアンドプレース装置 は、半導体製造用に設計された高精度自動化システムで、ウェハーからマイクロチップを分離し、基板やパッケージングキャリアに正確にマウントすることに特化している。そのコア要件には、ミクロンレベルの精度、安定性、壊れやすいウェハーの保護機能が含まれます。文書化された装置パラメータに基づき、以下のソリューションを推奨します:

高精度自動ピックアンドプレースマシン
HW-F5ウェーハピッキング&プレースマシン

ソリューション1:HW-F5 高精度プレーサー(基本ウェーハ用途)

コアの利点

  • 精度が高い: ±0.035mm(XYZ軸)、0201(0.6×0.3mm)マイクロコンポーネント対応
  • ビジョンシステム: フライングカメラ(12×12mm認識範囲)+固定カメラ(40×40mm)+6MPマークカメラ
  • 特別な特徴がある: レーザープリント基板反り補正、リアルタイム真空モニタリング、インテリジェントパス最適化(AIアルゴリズム)
  • 互換性: 8~88mm幅の電動フィーダーに対応、オプションでチューブ/トレイ供給も可能

理想的なアプリケーション

  • 小型から中型のウェハーマウンティング(センサーチップ、MEMSデバイスなど)
  • 複数のチップサイズの柔軟なハンドリングを必要とする研究開発またはパイロット生産環境
HW-S6 PCBピックアンドプレースマシン
HW-S6 PCBプレーサー (高度なウェーハ精度要件)

ソリューション2:HW-S6 PCBプレーサー(高度なウェハ精度要件)

主なアップグレード

  • 精度の向上: 6MPマークカメラ+5MPフライングカメラ、デュアルライティングによる認識安定性
  • 構造最適化: 密閉型ステッピングモーターにより垂直方向のクリアランスが不要、31mmのノズルストロークで高さ14mmの部品に対応
  • 安定性がある: トリプルレールスクリュー構造により摩耗を低減、X軸平行レール設計により滑らかさを向上
  • 給餌システム: 8mmフィーダーからの同期ピックアップをサポートする70のフィーダーステーション(デュアルフロント/リア固定プレート

理想的なアプリケーション

  • 大型ウェハー(8-12インチ)の連続生産
  • 高密度チップアレイ実装(プロセッサー、メモリーチップなど)
HW-S5 高精度自動ピックアンドプレースマシン
HW-S5 ウェハーピック&プレースマシン

ソリューション3:HW-S5 デュアルアームピッキング&プレースマシン(量産ソリューション)

コアの利点

  • デュアルステーションモード: ピーク時84,000CPHの独立/代替配置
  • 互換性: デュアルトラックは510×410mm基板に対応、長さ1200mmまで拡張可能
  • スマート・コントロール: MESシステム統合、ホットスワップトレイ対応、ノズル自動交換(40ノズルタイプ)

理想的なアプリケーション

  • ウェハーとPCBのハイブリッド生産ライン(LEDチップ+ドライバー基板の同時配置など)
  • 高スループットパワーデバイス実装(IGBTモジュールなど)

推薦セレクション

  1. 精密さ優先: HW-S6の6MPビジョンシステムは、<0.03mmの誤差公差を必要とする化合物ウェハー(GaN/SiC)に最適です。
  2. 大量生産: HW-S5デュアルアーム構成でサイクルタイムを短縮、自動車用電子機器やその他の大量生産アプリケーションに最適
  3. コスト管理: HW-F5は±0.035mmの精度を維持しながら、消費電力はわずか5KW。

注:すべてのソリューションは、静電気防止作業環境とウェーハ厚さ(0.5~9.0mm)に基づくZ軸パラメータ調整が必要です。変形補正が必要な超薄型ウェーハ(<0.2mm)には、PCB反り検出モジュールの追加をお勧めします。

 

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