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半導体用ダイボンダー

ダイボンダーは、半導体デバイスを基板やプリント基板などの次のレベルの相互接続に配置するシステムです。ウェハ・チップを基板やパッケージに固定するプロセスです。

IC用高速ワイヤボンダHW585

このHW812高精度ダイボンダーは、最大12″までのウェハーのチップ・ツー・チップおよびチップ・ツー・ウェハ接合用の高精度システムです。チップと基板のハンドリングが自動化されています。サイクルタイムは最大250msです。

ICフレームと互換性がある。

  • スクリューパターンを利用したデュアルディスペンサーシステム。
  • 高精度リニアドライブ固体結晶バインディングヘッド、ボイスコイルトルクリングは、正確に固体結晶圧力を制御します。
  • 高精度サーチチッププラットフォーム、サーボモーター駆動チップ角度補正システム、12″ウェハー自動フィルム拡張システム搭載。
  • 独立した制御システムを分配採用し、接着剤の量をより正確に制御します。
  • 垂直分注は、高精度グレーティング読み取りヘッド高さ測定、Z軸リニアモータ駆動を採用し、カメラ垂直検出モードを使用して分注の検出の前後に、接着剤ポイントの検出精度を向上させます。
  • 独立したXYZ軸機構。
  • 高精度分注グループを装備。
  • 図面のり機能付き。
  • 吐出前、吐出後の検出機能付き。
  • のりスポットサイズと位置の自動補正機能。
  • 真空漏れ検知。
  • 正確な自動化装置は、生産効率を向上させ、コストを削減します。

モデル

HW812

アップ

最大17K

精度

±20μm

ローテーション

±3°

チップ寸法

15×15 - 200x200mil

最大角度補正

±15°

最大ウェハーサイズ

12″

X/Y分解能

1μm

シンブルZストローク

3mm

ドンダーヘッド

リニアモーター駆動、ヘッド回転

チップの圧力吸収

30-300g

フィクスチャーの長さ

110-300mm

フィクスチャー幅

25-110mm

電源

AC220V 50HZ

空気供給

0.5Mpa

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