レーザー内部改質切断は、赤外線レーザービームをウェハ内部に集光し、内部を形成することです。 ウェハに外力を加えることにより、ウェハを個々のチップに切断します。
成熟したLEDダイシングマシンプラットフォームに基づき、より高精度で高効率なDSI - MC -9201を準備します。
シリアル番号 | デバイス名 | 原産国 | モデル | 数量 | 関数とパラメータ |
1 | レーザー | 中国 | U-速い | 1 | 3.0W@50KHZ; 3.5W@100KHZ (軽い出口) 調節可能な 50~200 KHZ |
1 | X/Yリニアワークタワー | 自作自演 | 400*600 XY | 1 | 1) ストローク400X 600 mm 2) 分解能Y=0.1μm、X=0.5um 3) Y繰り返し位置決め精度 <=1μm (see Appendix 1) 4) X straightness: 1 um / 300 mm (see Appendix 2) |
2 | DDモーターとドライバー | 輸入 | / | 1 | 1) 最高速度:2.4rps 2) 定格速度: 2.0 rps 3) エンコーダー分解能: 26214400 p/ rev 4) 設置面の平坦度: 10 um以下 |
3 | CCD | アウトソーシング | / | 4 | 1) 広角500W 2) サイズ・角度補正 130万画素 3) フォーカス 30万画素 4) 高画素テレセントリックレンズ |
4 | Z軸 | 輸入 | / | 2 | 1) 0-8mm の範囲 2) 繰り返し位置決め精度+/-1 um |
1 | 電源要件 | 220V/single phase/50 HZ /16A; 電力網の変動: <5% The power plug of the device is a standard three-flat plug |
2 | 周囲温度 | 22~26℃;温度変化±1 |
3 | 環境湿度 | 40~70% 結露なし |
4 | 圧縮空気 | 0.6~0.7Mpa、機器インターフェースパイプ径p12 mm |
5 | 環境振動要件 | 基礎振幅 <5μm Vibration acceleration <0.05G |
6 | 避けるべき状況 | ゴミ、ホコリ、オイルミストの多い場所; 振動や衝撃の多い場所; 薬品や可燃物・爆発物に触れる可能性のある場所; 高周波の干渉源に近い場所; 温度変化の激しい場所 CO2、NOX SOXなどが高濃度に存在する場所。 |
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