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HW-9201 全自動ダイシングマシン

全自動ダイシングマシンは、電子部品の精密切断に使用される効率的な装置で、半導体、セラミック、ガラスなどの加工に広く応用されています。先進のスピンドルシステム、ブレード自動交換機能、高精度位置決めシステムなどを搭載し、切断品質と生産効率を実現しています。

HW-9201 全自動ダイシングマシン

レーザー内部改質切断は、赤外線レーザービームをウェハ内部に集光し、内部を形成することです。 ウェハに外力を加えることにより、ウェハを個々のチップに切断します。

設備紹介:

成熟したLEDダイシングマシンプラットフォームに基づき、より高精度で高効率なDSI - MC -9201を準備します。

  • 高出力レーザーと新しい光学システムの組み合わせ
  • 現在の市場に対応するため、3つの異なる帯域のバックライトを使用 現場における主流チップの視覚的位置づけ
  • DRA応答精度 50 HZ @±5 um
  • 自動バーコードスキャン機能、生産情報アップロード機能との組み合わせ。
  • 自動広角プロファイル補正
  • 自動レベル補正。
  • オートフォーカス機能

プロセスフロー

赤外線レーザーダイシングマシン DSI-MC-9201--HANS

機材紹介

マシンの主な構成
シリアル番号デバイス名原産国モデル数量関数とパラメータ
1レーザー中国U-速い13.0W@50KHZ; 3.5W@100KHZ (軽い出口) 調節可能な 50~200 KHZ
1X/Yリニアワークタワー自作自演400*600 XY11) ストローク400X 600 mm 2) 分解能Y=0.1μm、X=0.5um 3) Y繰り返し位置決め精度 <=1μm (see Appendix 1) 4) X straightness: 1 um / 300 mm (see Appendix 2)
2DDモーターとドライバー輸入/11) 最高速度:2.4rps 2) 定格速度: 2.0 rps 3) エンコーダー分解能: 26214400 p/ rev 4) 設置面の平坦度: 10 um以下
3CCDアウトソーシング/41) 広角500W 2) サイズ・角度補正 130万画素 3) フォーカス 30万画素 4) 高画素テレセントリックレンズ
4Z軸輸入/21) 0-8mm の範囲 2) 繰り返し位置決め精度+/-1 um

3つの装備のハイライト

1.ミニのために改善された製品の外観品質要件、9201切断機、バックカットの直線性が約10umからに増加した。 <6um;赤外線レーザーダイシングマシン DSI-MC-9201--HANS2.DRA切断深さ対応と安定性の向上 新センサーはMINIフィルムソースとの互換性を高め、より薄い製品の測定が可能になり、追従性が向上しました。 システムの製品への適応性を向上させ、切断深さの安定性を向上させました。赤外線レーザーダイシングマシン DSI-MC-9201--HANSHL-C2 :移動分解能:約±5μm 測定厚み:80μm以上赤外線レーザーダイシングマシン DSI-MC-9201--HANSLK-H008W (New) :移動分解能:約±1μm 測定厚み:30μm以上30μm以上3.独立した知的財産権を持つ専用レーザー レーザーの最適化と改良により、競争力のあるレーザーを独自に開発し、LEDウェハーのレーザー切断品質を向上させます。赤外線レーザーダイシングマシン DSI-MC-9201--HANS 赤外線レーザーダイシングマシン DSI-MC-9201--HANS4.アラーム故障の改善と安定性の向上 継続的な最適化により、アラーム発生率は1%~5%以内に制御できます。つまり、100個を生産する場合、機械は1~5回しかアラームを発しません。5.新しいビジョン:3つの異なる帯域のバックライト光源を装備し、より広い互換性と自動視覚認識と位置決めを備えています。6.主なデータ 外観歩留まり:99.5%以上 電気歩留まり:業界トップレベルの効率:30 製品サイズ:9*27 mil 4インチウエハーの生産能力は7500枚/月以上、6インチウエハーの生産能力は5000枚/月以上。安定性:機械移動度≥ 96% .7 装置の開発以来、多くの技術的困難を克服し、多くの技術は業界初である。また、多くの特許を申請している。

利用環境

ワークショップの要件本装置はクリーンルーム内で使用し、ISO 14644-1規格CLASS ISO 5以上に適合していること!赤外線レーザーダイシングマシン DSI-MC-9201--HANS

工場要件

1電源要件220V/single phase/50 HZ /16A; 電力網の変動: <5% The power plug of the device is a standard three-flat plug
2周囲温度22~26℃;温度変化±1
3環境湿度40~70% 結露なし
4圧縮空気0.6~0.7Mpa、機器インターフェースパイプ径p12 mm
5環境振動要件基礎振幅 <5μm Vibration acceleration <0.05G
6避けるべき状況ゴミ、ホコリ、オイルミストの多い場所; 振動や衝撃の多い場所; 薬品や可燃物・爆発物に触れる可能性のある場所; 高周波の干渉源に近い場所; 温度変化の激しい場所 CO2、NOX SOXなどが高濃度に存在する場所。

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