真空プラズマ・クリーナー

真空プラズマ装置のクリーニングの流れ：真空チャンバーに製品をセットする--エンジンを始動し、室内を約10Paの標準真空レベルに排気する（通常数分かかる）--真空チャンバーにガス（酸素、アルゴン、水素、窒素、四フッ化炭素など）を入れ、内圧を安定させる--真空チャンバー内に高周波電圧を印加し、ガスを透過させてプラズマを発生させ、クリーニングを開始する。-- 洗浄終了後、電源を切り、真空ポンプでガスと気化した汚れを吸引排出する。

真空プラズマクリーナー装置を取り揃えております。